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4K低溫?zé)o磁平臺

產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品參數(shù)

描述
對于客戶的Cryonenic應(yīng)用,我們在Cryogenic Positioning Stage – High Resonance(CPSHR)中添加了一個自定義模塊。這樣,CPSHR的XYZ定位范圍為1 mm3,擴(kuò)展了z,Rx和Ry范圍為幾mm的范圍。該階段是無游隙且無摩擦的階段:具有3個切向彎曲的整體結(jié)構(gòu)。該階段的驅(qū)動是通過JPE的高低溫低溫線性驅(qū)動器:CLA1801-HF執(zhí)行的。