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北京納茲精密科技有限公司

BEIJING NATSU PRECISION TECHNOLOGY CO.LTD

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4K低溫?zé)o磁平臺

CUSTOM: CRYO HEXAPOD POSITIONING SYSTEM

產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品參數(shù)

熱電聯(lián)產(chǎn)

描述
低溫六足體定位系統(tǒng)（CHPS）是為在低溫真空環(huán)境中使用而開發(fā)的6自由度定位平臺。并聯(lián)運(yùn)動學(xué)導(dǎo)致一個輕而剛性的階段，具有很高的內(nèi)部共振頻率。這使得樣品臺的位置對地面振動不敏感。粗略和精細(xì)的驅(qū)動串聯(lián)提供了CHPS毫米范圍，（亞）nm分辨率，高穩(wěn)定性和動態(tài)定位性能。對稱性使工作臺位置對熱波動高度不敏感。每條腿都裝有一個光學(xué)編碼器，用于控制運(yùn)動。

產(chǎn)品報價

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