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可在緊湊而堅固的平臺中提供一致且可靠的運動精度

具有超精細的定位分辨率、充足的有效載荷能力

成為在可用空間有限時需要復雜多自由度運動的應用的理想選擇。適用于半導體檢測圓晶的調(diào)平。