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A-HEX-10.6.100.100-XXX六由度位移臺(tái)

串并聯(lián)混合的TRIPOD結(jié)構(gòu)，直線電機(jī)+光柵反饋，可實(shí)現(xiàn)三個(gè)直線和三個(gè)旋轉(zhuǎn)方向的六軸位移運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)光學(xué)負(fù)載實(shí)現(xiàn)六軸方向上的高精度的位移調(diào)節(jié)，應(yīng)用于光學(xué)檢測(cè)，同步輻射，高精度自動(dòng)化領(lǐng)域。