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A-HEX-S6.50.200-XXX 六由由度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

串并聯(lián)混合的TRIPOD結(jié)構(gòu)，直線(xiàn)步進(jìn)電機(jī)+絲杠+光柵反饋，可實(shí)現(xiàn)三個(gè)直線(xiàn)和三個(gè)旋轉(zhuǎn)方向的六軸位移運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)光學(xué)負(fù)載實(shí)現(xiàn)六軸方向上的高精度的位移調(diào)節(jié)，本設(shè)計(jì)為大型中空光學(xué)檢測(cè)，使用.