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機(jī)械位移平臺

產(chǎn)品詳情

A-MiniSCAN系列是我司最近推出的一款高精度桌面型的掃描系統(tǒng)，整機(jī)采用了穩(wěn)定性極佳的大理石底座，搭配高精度的XY和Z軸運(yùn)動平臺，加上預(yù)留了光路安裝和照明機(jī)構(gòu)，可以非?？焖俚慕M合成各種滿足客戶要求的應(yīng)用，目前已經(jīng)在：半導(dǎo)體晶圓掃描、生物檢測、干涉儀測量等高精度應(yīng)用上有非常成功的應(yīng)用案例。


產(chǎn)品參數(shù)

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A-MiniSCAN系列主要特征

? 標(biāo)配桌面級隔振系統(tǒng)

? 三軸可選高精度直線電機(jī)或高穩(wěn)定性步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動平臺

? 驅(qū)動控制系統(tǒng)已嵌入整機(jī)架構(gòu)中，無額外的控制箱

? 可根據(jù)客戶要求選配定制照明及成像機(jī)構(gòu)

? 可選配高精度測距模塊，實(shí)現(xiàn)0.2um級別的自動對焦

可選標(biāo)準(zhǔn)控制軟件，也有完整豐富快捷的二次開發(fā)包

適用于半導(dǎo)體檢測圓晶的調(diào)整，光學(xué)檢測，調(diào)節(jié)光路的應(yīng)用場景。