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配件

產(chǎn)品詳情
VAG系列運動平臺是XiviTech持續(xù)多年在很好材料、特有加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析與設(shè)計領(lǐng)域不斷投入后，專門為幫助當(dāng)今半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)備制造業(yè)實現(xiàn)高精度、高產(chǎn)出率目標(biāo)而研發(fā)的系列平臺。高自主知識產(chǎn)權(quán)及精英的研發(fā)團隊，能確保我們的企業(yè)在迎接未來挑戰(zhàn)時，始終保持領(lǐng)先的技術(shù)能力。VAG系列運動平臺，非常能滿足在電子及半導(dǎo)體加工、檢測行業(yè)極具挑戰(zhàn)的嚴(yán)苛要求。
產(chǎn)品參數(shù)

VAG的優(yōu)點：
1、掃描速度快
2、整定時間小
3、線性編碼器反饋
4、全氣浮及真空預(yù)載
Travel Scan Axis 350 mm , 500 mm,
Step Axis 350 mm , 500 mm
Drive System Linear Brushless Motor                  
Resolution 0.25 nm
Accuracy ±300 nm
Repeatability（choose linear driver） ±100 nm (±50 nm)
XYZ Position Stability（Air On） 20 nm
Granite Bass Thickness 250 mm
Rated Payload(Maintaining Dynamic Specifications) 5 kg
Maximum Payload 25 kg
Maximum Velocity with Rated Payload Scan & Step Axis  1000 mm/s
Peak Acceleration with Rated Payload Scan & Step Axis 2 G (20 m/s2)
RMS Acceleration with Rated Load Scan & Step Axis 1 G (10 m/s2)
Stiffness,First Natural Frequency with Rated Payload >100 Hz
Pitch 2 arc sec
Roll 2 arc sec
Yaw 2 arc sec
XY straightness 1 um
XY Flatness 1.2 um
XY Orthogonality <2 arc sec
Velocity ripple( sampled at 400mm/s) 0.1 %
MTBF 40,000 hours