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配件

產(chǎn)品詳情
VZT系列垂直平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)微米精度的垂直運(yùn)動(dòng),為輕型或重型負(fù)載應(yīng)用提供理想的解決方案。該平臺(tái)精確、快速的定位能力可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、激光加工、生物醫(yī)療等行業(yè)。
產(chǎn)品參數(shù)

VZT的優(yōu)點(diǎn):
1、在緊湊型設(shè)備中,具有30mm的垂直行程
2、垂直抗蠕動(dòng)交叉滾子軸承,可實(shí)現(xiàn)無(wú)波紋運(yùn)動(dòng)以及卓越的軌跡精度

3、集成高精度線性編碼器可實(shí)現(xiàn)較高重復(fù)性和高精度定位