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A-ABRX-M150 系列是使用直驅(qū)旋轉(zhuǎn)電機(jī)和空氣軸承，無摩擦，使用圓光柵做為檢測(cè)反饋，達(dá)到優(yōu)異轉(zhuǎn)臺(tái)臺(tái)面跳動(dòng)及旋轉(zhuǎn)精度。

適用于微小步距或者需要超精確旋轉(zhuǎn)定位的應(yīng)用場(chǎng)景。是精密光學(xué)調(diào)試、安裝、加工非常優(yōu)秀的應(yīng)用選擇。應(yīng)用領(lǐng)域：斷層掃描、束線系統(tǒng)、晶圓計(jì)量、晶圓檢驗(yàn)、測(cè)量技術(shù)、檢驗(yàn)系統(tǒng)、校準(zhǔn)、掃描。

● 氣浮軸承100nm軸跳，端跳，直驅(qū)電機(jī)高精度轉(zhuǎn)角運(yùn)動(dòng)

● 使用中安靜平穩(wěn)、噪音極低

● 有非常高的精度表現(xiàn)水平