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 Z-STAGE 是一個(gè)緊湊型的Z軸直接驅(qū)動(dòng)納米位移臺(tái)，具有高速能力。它可以與一個(gè)2軸納米位移臺(tái)組合使用，該位移臺(tái)具有66×66毫米的開口（LF2/LFHS2），以獲得一個(gè) SPM3 或 SPM3LR。Z軸位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)范圍有5、10、25或50微米可選。
這個(gè)納米位移臺(tái)是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）。