兩軸平臺
LFS2納米位移臺
LFS2 是一個2軸納米定位器,提供在X和Y方向上100μm的行程,并具有40 x 40 mm的通孔。這個壓電位移臺可以與粗定位微位移臺結(jié)合使用。它也可以配備快速20μm Z軸(見3軸型號 LFS3)。
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