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LF3 是一個三軸納米定位器，提供 100、200 或 300 微米的 X 和 Y 軸行程，50 微米的 Z 軸行程以及 66 x 66 毫米的大孔徑。這個壓電位移臺可以與粗定位微位移臺結(jié)合使用（見我們的 混合系統(tǒng)）。