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LFS3 是一個(gè)三軸納米定位器，提供在 X 和 Y 方向 100 微米的行程，Z 方向 20 微米的行程，并且具有 40 x 40 毫米的通孔。
這個(gè)壓電位移臺(tái)可以與粗定位微位移臺(tái)結(jié)合使用。