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LFHS3 是一款三軸超高速納米定位器，提供沿 X 和 Y 方向 75 微米的行程，沿 Z 方向 50 微米的行程，66 x 66 毫米的大孔徑，以及每個軸上的共振頻率高于 1.5 千赫茲。這個壓電位移臺可以與粗定位微位移臺結(jié)合使用（見我們的 混合系統(tǒng)）。

這個納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）。使用高功率控制器可以實現(xiàn)高速掃描和響應(yīng)時間短于2毫秒。