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SPM3 載臺(tái)是一個(gè)三軸超高速納米定位器，提供在 X 和 Y 方向上的 75 微米的行程范圍，并且在兩個(gè)軸上具有高于 2 千赫茲的固有頻率。
SPM3 載臺(tái)的 Z 部分可以具有 50 微米的行程范圍，并提供市場(chǎng)上最高的速度性能，最大固有頻率為 12.5 千赫茲。事實(shí)上，當(dāng)與高功率控制器一起使用時(shí)，SPM3.5 在 Z 軸上的步響應(yīng)時(shí)間可以小于一毫秒。這就是為什么 SPM 載臺(tái)特別適合于諸如原子力顯微鏡 (AFM) 等苛刻的計(jì)量應(yīng)用。

它可以與粗定位微臺(tái)結(jié)合使用（請(qǐng)參閱我們的 混合系統(tǒng)）。這個(gè)納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）。