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SPM3LR 位移臺是一個(gè)三軸納米定位器，提供在 X 和 Y 方向上的 100 微米、200 微米或 300 微米的行程范圍。
SPM3LR 位移臺的 Z 部分可以有 50 微米的行程范圍，并提供市場上最高的速度能力，最大共振頻率為 12.5 千赫。SPM3LR.xxx.05 在 Z 軸上的步響應(yīng)時(shí)間可以小于一毫秒。
因此，SPM3LR 位移臺特別適合于諸如原子力顯微鏡 (AFM) 等高要求的計(jì)量應(yīng)用。

這個(gè)壓電位移臺可以與粗定位微位移臺一起使用（見我們的 混合系統(tǒng)）。