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三軸平臺(tái)

產(chǎn)品詳情
NPXY100Z25-264是一款帶大通孔和高速Z軸的三維納米掃描臺(tái)，掃描范圍100μm×100μm×25μm，亞納米分辨率。適用于光學(xué)測量、納米加工、AFM、光存儲(chǔ)/磁存儲(chǔ)、材料科學(xué)等應(yīng)用。
產(chǎn)品參數(shù)

Part Number 3715264
Footprint 140mm W x 140mm D x 35mm H
Aperture 68mm W x 68mm D
Material Aluminum
Maximum Load 1 kg
Nanomotion Control XYZ
Closed-loop Travel 100µm|100µm|25µm
Position Noise 0.3nm|0.3nm|0.2nm
Resonant Frequency 600Hz|600Hz|750Hz
Settling Time 10ms|10ms|5ms
Linearity Deviation 0.02%|0.02%|0.02%
Controller LC.403